Lắng đọng hơi vật lý (PVD) bao gồm một tập hợp các quá trình mạ chân không, trong đó vật liệu sử dụng được giải phóng vật lý ra khỏi nguồn rắn hay gọi là “điện cực”-target bằng cách bay hơi-evaporation hoặc phún xạ- sputtering trong môi trường chân không .
